润理（苏州）真空技术有限公司

生产建设跑出“加速度”

这家填补国内光刻预处理技术空白的

高科技企业

仅用10个月便完成

从项目建设到试生产的全流程

为太仓高端装备制造产业集群

再添核心力量

项目名片

项目名称：润理（苏州）真空技术有限公司晶硅光伏及半导体光源设备项目

项目地址：太仓浏河镇

项目占地：项目占地14.1亩，建筑面积8000平方米

投资总额：1.5亿元

项目内容：主要生产真空、低温应用及半导体EUV光源测试系统设备等产品

在润理（苏州）真空技术有限公司的装备调试间内，技术员正对即将交付的阿秒激光设备进行最后调试。这台用于基础科研的设备可以解决试验阶段对特殊波段的激光需求。作为企业试生产之后的首批设备，它将于这个月完成交付。

作为浏河镇2025年重点项目，该基地占地14.1亩，总投资1.5亿元，主要生产真空、低温应用设备及半导体EUV光源测试系统，专注于激光物理、新材料、空间模拟等尖端设备。

“去年9月我们项目破土动工，今年6月首批设备已迁入试生产。”公司总经理戈松雨告诉小布，该项目的建设将带动企业总部搬迁至浏河，完成产能、资源等整体融合，也承载着企业打破国际垄断的雄心——其自主研发的高真空硅片氢气清洗系统，成功替代尼康、佳能设备，解决光刻预处理环节的“卡脖子”难题；同步研发的高真空键合系统，更具备与国际巨头同台竞技实力。目前，企业已为清华、中科院等9家知名科研机构定制高端设备。

高效建设速度，为企业快速投入运营、抢占市场先机奠定了基础。戈松雨表示，企业计划通过2~3年建设，形成年产1500套相关设备的产能。目标是打造国内领先的真空技术及半导体配套设备研发制造基地，实现年产值超3亿元，助力区域高端制造业升级。

润理真空的快速成长，是浏河镇产业蓬勃发展的一个缩影。今年以来，浏河镇产业发展势头强劲，高端装备制造、汽车零部件等主导产业贡献突出，合计拉动规模以上工业产值增幅超7个百分点。通过“增资扩产、项目招引、存量盘活”三管齐下，上半年签约落户无纺新材料、精密轴承等总投资超20亿元的18个项目，意欣智能、优尼泰克等11个新建重点项目全部开工，丰采、铁王等3个产业载体去化率超90%，持续为区域经济注入新动能。